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【中国科学报】大连理工研发新装备实现硅变形诱导制纳米结构

来源:《中国科学报》 (2018-07-19 第4版 综合) 时间:2018-07-19 09:32

原文链接:http://news.sciencenet.cn/sbhtmlnews/2018/7/337261.shtm?bsh_bid=2227316999

本报讯(记者刘万生 通讯员张平媛) 近日,大连理工大学教授张振宇及其博士生王博、崔俊峰等在硅的变形诱导制造新型纳米结构方面取得重要进展,相关研究发表于《纳米通讯》。

目前的变形诱导方法主要是金刚石砧板、压缩、划擦、弯曲、纳米压痕和纳米划擦。但目前的变形诱导制造纳米结构的方法与实际的加工速度相差3~10个量级。

针对这个难题,大连理工大学自行设计制造了刃口半径为2.5微米、投影角为140.7°的单颗磨粒金刚石刀具,研制了单颗磨粒纳米深度超精密磨削装备,实现了磨削速度为40.2 米/秒的单颗磨粒纳米深度超精密磨削试验新方法,在切削深度为33 纳米的时候加工出含有非晶、新的四方相、滑移带、孪晶超晶格和单晶的新型纳米结构。

新型纳米结构的不同显微结构具有不同的力学、电学和光学性能,在晶体管、IC、二极管、太阳能电池、能量存储系统、MEMS和NEMS领域具有潜在应用价值,并为新型高性能器件与装备的设计制造提供了新的思路。

《中国科学报》 (2018-07-19 第4版 综合)

责任编辑:张平媛

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