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大工承担国家国际科技合作专项顺利通过结题验收

作者:高飞 孙红新 来源:科学技术研究院 时间:2014-11-12 10:58

11月7日上午,在我校国际会议中心召开由物理与光电工程学院王友年教授团队承担的国家国际科技合作专项“等离子体工艺腔室仿真及实验评价”的结题验收会。教育部科技司干部李人杰、王万鹏参加验收会,验收专家组由中国科学院等离子体物理所王孔嘉研究员、北京大学姚淑德教授、中国科学院大连化学物理研究所韩克利研究员、中国科学院上海光学精密机械研究所沈百飞研究员、北京航空航天大学朱开贵教授、兰州大学王铁山教授、电子科技大学赵青教授组成,其中王孔嘉研究员担任验收组组长。我校科研院副院长姚伟岸教授及物理与光电工程学院科研院长丁洪斌教授参加会议。

会上,姚伟岸教授对教育部科技司领导、各位专家表示热烈欢迎,感谢教育部和专家们对我校的大力支持,同时也介绍了我校在国际科技合作项目的管理和实施情况。李人杰代表教育部对专家们参加本次结题验收会的关心与支持表示感谢,同时对验收工作的程序及要求做了说明。

专家组审阅了项目有关材料、听取了团队负责人王友年教授的工作总结报告,并实地考察了相关实验室,对团队取得的成就给予充分肯定。专家组认为,针对IC技术中的等离子体工艺腔室仿真与实验评价,该项目的承担单位大连理工大学与比利时安特卫普大学开展了国际合作研究,全面完成了项目任务计划书中的研究内容,并且该项目的实施为项目承担单位目前正在承担的一项国家重大科技专项课题的顺利完成提供了有力的技术支撑,同时该项目研发的等离子体仿真模拟软件已在相关IC装备制造企业得到了应用。最后,验收专家组一致通过项目验收并给以较高的评价。

责任编辑:责任编辑:张平媛

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