辽宁沈阳一公司生产车间，技术工人加紧生产IC装备精密零部件

日前，辽宁原子级制造创新发展联盟第一届理事会第一次（扩大）会议、第九届辽宁青年科学家论坛接连在大连举行。郭东明、黄庆学、罗先刚等多位中国工程院院士以及与国内科研院所代表齐聚海滨，围绕原子级制造的未来产业布局，共话创新机遇，共绘产业发展蓝图。

原子级制造创新发展联盟秘书长杜晓辉表示，作为引领新一轮科技革命的核心“根技术”，原子级制造被视作突破高端制造极限、掌握国际产业话语权的战略新赛道。

辽宁何以抢占这一前沿赛道，又具有哪些核心优势？

发挥专家智力支撑作用

原子级制造，是在原子尺度实现材料与器件精准构筑的变革性技术，加工精度达0.1纳米量级。相关技术在集成电路、航空航天、新能源等领域发挥重要作用。

源头创新能力是发展这一技术的第一道门槛。辽宁集聚大连理工大学、中国科学院金属研究所、大连化学物理研究所等一批顶尖科研院所，深耕精密制造、金属材料、催化科学等方向，形成了覆盖基础理论到工艺技术的完整研究体系。

不久前，大连理工大学科研团队研发出国内首款具有自主知识产权的等离子体工艺腔室仿真平台（MAPS）。该平台可在虚拟世界中复现真实的制造过程，实现产品的提前研发和性能预判。“目前，该技术已应用于拓荆科技股份有限公司、华为等企业，较国外同类型技术节约经济成本15%、节约时间成本20%。”大连理工大学集成电路学院党委书记高飞介绍。

等离子体工艺腔室仿真平台仅是辽宁科创成果的一个缩影。郭东明介绍，大连理工大学依托高性能精密制造全国重点实验室，已实现0.1纳米级刻蚀深度可控，攻克了原子级平整表面加工等核心技术；中国科学院金属研究所在原子序构材料、原位原子操控等方向取得原创突破，实现晶体中原子动态运动的实时捕捉与结构精准调控；大连化学物理研究所则在原子级表面催化、能源材料领域积累深厚。过去，各科研单位曾长期处于“单兵作战”状态，科研力量彼此分散，而辽宁原子级制造创新发展联盟的成立改变了这一格局。

今年5月成立的辽宁原子级制造创新发展联盟，以大连理工大学为理事长单位，集结了12家高校、科研院所与龙头企业，打通了从基础研究、应用开发、中试验证到产业落地的完整创新链条。

“从‘单兵作战’到‘集团冲锋’。”辽宁省科技厅副厅长许爱东这样定义联盟的意义。多位院士的深度参与，更为产业方向把控、核心技术攻关提供了智力支撑。

“联盟应立足企业实际、紧扣市场导向，充分发挥科研专家智力支撑作用，凝练一批贴合产业发展、具备实践价值的高质量研究课题。”郭东明说。

贴合本土产业发展需求

完备的工业体系是辽宁发展原子级制造独特的比较优势。辽宁省工业门类齐全，高端装备制造、新材料、仪器仪表产业积淀深厚，本土企业能够为前沿技术提供真实的试验、迭代与验证场景。

许爱东介绍，在辽宁，原子级技术可以直接对接高端装备零部件、特种金属材料、精密仪器等产业需求。在原子尺度调控优化材料性能，既能破解高端轴承、关键构件等“卡脖子”难题，也能赋能冶金、装备制造等传统产业提质升级，实现“老树发新芽”。这种“前沿科技+工业场景”的双向赋能模式，让辽宁走出了一条差异化的原子级制造发展路径，避免了科研与产业“两张皮”的普遍困境。

未来产业竞速，既靠科研硬实力，也靠生态软实力。辽宁选择以“厅会协同”的模式双轮推进——省科技厅统筹产业顶层设计与政策支持，省科协激活青年人才资源。

眼下，辽宁已将原子级制造纳入“2211”现代产业体系重点布局。联盟将进一步对接全国创新资源，集中力量攻坚关键核心技术，加速成果产业化落地。这条以原子精度丈量的未来赛道，正为辽宁培育壮大新质生产力、抢占未来产业发展主动权，注入源源不断的科创动能。

“我们将从创新需求凝练、活动组织、智库咨询等方面，支持联盟更好发挥桥梁纽带作用，服务全省原子级制造高质量发展。”辽宁省科技厅前沿处处长田璐佳表示。

原文链接：科技日报